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半导体行业酸雾在线监测解决方案-深国安

行业背景:

目前我国半导体行业在迅速发展,虽然半导体厂给社会带来的经济效益及就业率有目共睹的,但随之而来的还有对大气的污染。由于半导体行业对操作室清洁度要求极高,通常使用风机抽取工艺过程中挥发的各类废气,因此半导体行业废气排放具有排气量大、排放浓度小的特点。半导体行业废气主要为有机废气和酸碱废气两类。有机类有:非甲烷总烃、氮氧化物、二氧化硫等;酸碱类有:氨气、硫酸雾、氟化物、氯化物、氯气等。

预处理酸雾在线监测系统

半导体行业主要是元器件组装焊接过程中对大气的污染和电路板等器件清洗等表面处理过程中因使用一些化学药剂(如硫酸、盐酸、氟氯化碳、四氯化碳、三氯乙烷及其他有机卤化物)挥发造成对大气环境的污染,以及整机装配过程中产生的机械噪声和少量粉尘也会造成环境污染,这些污染气体会造成人群慢性或急性中毒。

预处理酸雾在线监测系统

半导体行业酸雾在线监测解决方案

SGA-900A系列预处理酸雾在线监测系统是深国安针对环境中固定污染源的酸雾废气进行实时在线监测的一种气体检测设备,产品集气体采样、气体过滤、气体干扰、流量控制、实时浓度显示、无线数据上传、环保联网、本地声光报警、设备联动等功能为一体的标准化、模块化、专业化挥发性气体检测仪系统集成产品。SGA-900A系列酸雾在线监测系统可全天候24小时对酸雾废气浓度等参数实时采集和精准检测,达到超标排放快速预警预报,同时结合网格化管理,实现企业废气检测与监管高效联动。

预处理酸雾在线监测系统

SGA-900A系列预处理酸雾在线监测系统支持连无线HJ212协议数据上传,可无缝对接当地环保监测平台;因其卓越性能和良好表现,不仅可以作为企业内的有组织或无组织的气体排放使用,还可以为环保监测等部门提供数据决策支持。SGA-900A系列预处理酸雾在线监测系统广泛应用于半导体制造、涂装流水线、生物制药、化工企业废气处理等。

预处理酸雾在线监测系统

SGA-900A系列预处理酸雾在线监测系统可以同时监测非甲烷总烃、砷烷、酸雾、硫化物、NOX、粉尘颗粒物、氨气等10个气体指标在内,并且还可以搭配工厂中的风机、阀门、喷淋系统等设备来使用,通过内部开关量信号实现联动。气体超标即时报警,同时启动/关闭联动设备;此外,其监测数据还可以通过专用配套软件实时接收,并且可以实现多路统一管理以及数量的无限扩充。存储的数据还可以任意选取时间段进行查询,曲线显示,数据EXCEL导出等,使得监测数据一目了然。



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