SGA-501氨气检测仪是专为薄膜材料制备工艺(CVD/ALD 氮化硅沉积、金属氧化物薄膜合成等)设计的一款工业级NH3气体报警器装置，该设备以“多量程精准覆盖、智能报警联动、无线联网管控” 为核心优势，完美适配洁净室高要求环境，同时满足人员安全防护与工艺浓度控制双重需求，是薄膜生产全流程氨气监测的专用解决方案。

薄膜材料制备工艺专用氨气检测仪本地配备高分贝蜂鸣器(音量≥100dB，覆盖真空泵噪音)、三色LED报警灯(红色高报、黄色低报、绿色正常)，报警灯亮度≥500cd/m3，强光下可视距离达 10 米;支持三级自定义阈值设置(低报、中报、高报)，默认适配薄膜工艺场景 —— 低报 10ppm(启动局部排风)、中报 20ppm(暂停工艺)、高报 50ppm(全区域撤离)，阈值可通过报警主机或云端平台统一配置，确保多设备阈值一致性。

薄膜材料制备工艺专用氨气检测仪出厂标配带报警主机(型号：SGA-800A)为薄膜工艺量身定制，具备 “数据汇聚、联动控制、应急指挥” 三大核心能力。

1.多设备接入：单台主机可接入≤200台氨气检测仪，支持固定式、便携式设备混合接入，实时显示各检测点位置(地图标注)、浓度、报警状态，红色闪烁图标突出报警点位;

2.工艺联动控制：主机可与薄膜设备 PLC 系统、通风系统、气体切断阀联动 —— 当工艺腔氨气浓度偏差>±1ppm 时，自动调整进气阀开度;浓度超 20ppm 时，触发 CVD/ALD 设备停机，同时关闭氨气总阀、启动屋顶应急排风机;

3.应急指挥功能：报警时主机自动弹出应急处置流程(如泄漏区域疏散路线、设备关停步骤)，支持一键拨打应急电话(如安全员、环保部门)，并生成报警事件报告(含浓度变化曲线、处置记录)，便于后续追溯分析。

薄膜材料制备工艺专用氨气检测仪布设方案：

1.CVD/ALD 工艺腔监测

部署位置：工艺腔进气口(氨气与硅烷混合前)、排气口;

功能应用：进气口锁定 0-20ppm 量程，实时监测氨气浓度，数据传输至主机后联动调整进气阀，确保浓度偏差≤±1ppm，保障氮化硅薄膜致密性;排气口启用 0-100ppm 量程，监测未反应氨气(通常≤5ppm)，超限时触发尾气处理装置加强吸附，避免排放超标。

2.氨气储存与输送管控

部署位置：钢瓶柜(固定式氨气检测仪+0-500ppm量程)、VMB气体面板(固定式氨气检测仪+0-100ppm量程);

功能应用：钢瓶柜检测仪与气体切断阀联动，泄漏浓度超 50ppm 时自动关阀;VMB 面板检测仪通过主机统一监控各支路氨气浓度，发现泄漏时定位具体支路，减少全系统停机影响。

3.洁净室与巡检监测

部署位置：洁净室回风出风口(固定式+0-100ppm量程)、巡检人员配备便携式氨气检测仪设备;

功能应用：回风出风口检测仪每500㎡布置1台氨气检测仪，监测整体环境氨气浓度，超 10ppm 时启动新风置换;便携式设备支持蓝牙连接巡检 APP，记录巡检轨迹与点位浓度，生成电子巡检报告，替代传统纸质记录，提升合规管理效率。