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在半导体制造领域,气体泄漏不仅会影响产品质量,还可能引发严重的安全事故。深国安推出的半导体机器狗专用SGA-501氩气检测仪,为行业带来了创新性的气体安全监测解决方案。这款检测仪支持多气体检测功能,除精准检测氩气外,还能根据半导体生产场景需求,灵活搭配检测氢气、氨气、氧气、VOCs 等多种工艺气体。在光刻、蚀刻等关键工序中,可实时监测多种气体浓度,及时发现潜在泄漏风险,为生产安全保驾护航。

半导体机器狗专用SGA-501氩气检测仪采用进口高精度传感器,检测精度达到行业较高水平。氩气检测精度 ≤±3% F.S.,能快速、准确地捕捉到微小的气体浓度变化。当气体浓度接近或超过预设的安全阈值时,检测仪会立即发出声光报警,提醒现场人员及时采取措施,避免事故的发生。半导体机器狗专用SGA-501氩气检测仪具备GPRS无线传输功能,可将检测数据实时上传至监控平台。管理人员无论身处何地,都能通过电脑或手机远程查看现场气体浓度数据、设备运行状态等信息。一旦检测到异常情况,系统会自动推送报警信息,方便及时响应和处理,大大提高了管理效率和应急处理能力。

SGA-501氩气检测仪与机器狗完美集成应用,机器狗灵活的运动能力和强大的感知系统,使检测仪能够深入到半导体车间的各个角落,包括狭窄通道、设备间隙等人工难以到达的区域,实现全方位、无死角的气体监测。为解决多种气体检测需求,半导体机器狗专用SGA-501氩气检测仪可根据用户需求搭配1-6种气体组合,气体种类不限,检测量程不限,采样方式不限,并支持粉尘、选配温湿度检测功能。

机器狗集成SGA-501氩气检测仪的应用,通过 “移动监测 + 智能联动”,为多行业气体安全管控提供高效、安全、精准的解决方案,已在化工园区、市政管廊等场景广泛应用,未来可进一步接入数字孪生系统,实现 AI 预测性维护,助力智慧工厂建设。