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半导体专用气体传感器如何选型-深国安

半导体专用气体传感器如何选型?通常气体传感器的选型需要结合‌检测目标、环境条件、精度需求、系统兼容性‌等多个因素来综合考量哦,下面详细给大家分享关于半导体专用气体传感器选型指南,以及提供深国安产品的适配方案。

半导体专用气体传感器

半导体专用气体传感器选型指南

‌1. 明确检测目标‌

‌气体类型‌:

‌可燃气体‌(如甲烷、氢气、乙烷、异丁烯):优先选催化燃烧式(如深国安UGT-C5)或红外式传感器,抗中毒性强、线性度好。

‌有毒气体‌(如氯气、氨气):选电化学式(如SGA-501系列)或PID光离子原理,选择性高、寿命长。

‌氧气/惰性气体‌:选电化学式(如SGA-700抗温湿度O₂传感器),高分辨率精度达PPB级。

‌VOCs(挥发性有机物)‌:选光离子化传感器(PID),响应快、检测范围广。

‌浓度范围‌:

低浓度预警(如ppm级):选电化学式或半导体式。

高浓度监测(如%VOL级):选催化燃烧式或红外式。

半导体专用气体传感器

‌2.分析环境条件‌

‌温度‌:

高温环境(如半导体工艺>80℃):选红外式或带温度补偿的催化燃烧式(如SGA-700系列,工作温度-20℃~60℃)。

低温环境(如冷库):选电化学式(常温工作)。

‌湿度‌:

高湿环境(如晶圆清洗车间):选IP65防护+疏水涂层传感器(如SGA-700-H2氢气传感器,湿度30%~85% RH稳定)。

‌粉尘/腐蚀性气体‌:

选316L不锈钢外壳+IP67防护(如SGA-501固定式气体检测仪),防颗粒脱落、耐腐蚀。

半导体专用气体传感器

‌3.确定精度与响应需求‌

‌高精度场景‌(如半导体工艺气体配比):

选红外原理(如SGA-700氢气传感器,分辨率0.1ppm、T90≤10秒)。

‌快速预警场景‌(如储罐区泄漏):

选便携式气体检测仪(如SGA-501,响应时间≤3秒、声光震动报警),联动排风系统。

半导体专用气体传感器

‌4.匹配系统兼容性‌

‌信号输出‌:

模拟信号(4-20mA):适配传统PLC系统。

数字信号(RS485/Modbus):适配MES系统、物联网平台。

多模输出:选SGA-700系列(支持4-20mA、RS485、继电器开关量)。



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