深国安SGA-501NOX氮氧化物检测仪专为半导体光刻、蚀刻、薄膜沉积等工艺的废气管控设计，是兼顾人员安全、工艺合规与环保达标三重需求的核心监测装备。设备以≤±3% F.S. 的高精度检测能力为核心，融合多气体同步监测与无线云端管理功能，精准破解半导体废气低浓度、高干扰的监测痛点。

SGA-501NOX氮氧化物检测仪采用进口传感技术，针对性捕捉 NO、NO₂等氮氧化物组分，检测下限低至 0.01ppm，完全满足半导体行业 NOX≤0.01ppm 的严苛监测标准。支持 1-6种气体自定义组合检测，可灵活搭配半导体工艺常见的氨气、磷化氢、硫化氢等有毒气体及 VOCs 监测模块，实现 “一仪多能”，适配洁净车间、特气管道、废气处理端等多场景监测需求。

SGA-501NOX氮氧化物检测仪设备搭载 4G/NB-IoT无线传输模块，检测数据实时同步至云端管理平台，支持电脑、手机 APP 远程查看浓度曲线、报警记录与设备状态，无需现场值守即可实现全流程监控。配备 3.5 寸高清彩屏，直观显示多组分浓度数据，内置声光振动三重报警功能，可自定义两级报警阈值，超标时即时触发预警并联动排风、切断阀系统，从源头阻断风险。

SGA-501NOX氮氧化物检测仪机身采用 316L 不锈钢材质设计，防护等级达IP67，防爆等级CT6，耐受- 40℃-70℃宽温与高湿环境，适配半导体工艺腔室周边的严苛工况。支持 4-20mA/RS485 信号对接 MES 系统，数据自动存储10万条，满足环保合规审计要求，是半导体企业实现废气精细化管控的可靠选择。