硅烷(SiH₄)作为半导体制造核心特种气体，兼具剧毒、易燃易爆、易自燃三重高危特性(爆炸极限 1.4%~96% VOL，职业接触限值 MAC=0.3ppm)，泄漏后遇空气即自燃，产生有毒二氧化硅烟雾，对半导体产线安全与产品良率构成致命威胁。因此，深国安研发一种半导体专用SIH4硅烷检测仪专为半导体洁净车间、气相沉积(CVD)设备区、气瓶柜等场景设计，以 “高精度、抗干扰、适配洁净环境” 为核心，打造针对性安全监测解决方案。

SGA-501系列SIH4硅烷检测仪核心采用进口电化学传感器(针对硅烷强还原性优化电极材质)或光离子化(PID)传感器，搭载抗交叉干扰算法，可精准屏蔽半导体生产中氩气、氮气、氢气等背景气体影响，检测量程覆盖 0-10ppm(常规)/0~50ppm(扩展)，分辨率达 0.01ppm，响应时间(T90)≤15秒，测量精度≤±3%FS，能快速捕捉 ppm级微量泄漏，避免漏报、误报。

半导体专用SIH4硅烷检测仪采用CT6防爆设计，防护等级达IP67，适配无尘、低湿度、强电磁干扰环境，可直接安装于 CVD 设备旁、气瓶柜内部、管道接口等关键点位。固定式机型支持 24 小时连续监测，配备 4-20mA/RS485 信号输出，可接入半导体产线 MES 系统，超标时联动气瓶紧急切断阀、排风系统，实现 “泄漏 - 报警 - 处置” 闭环;便携式机型采用轻量化设计(重量≤300g)，续航超 16小时，支持泵吸式采样，适配设备巡检、气瓶更换等移动场景。

深国安半导体专用SIH4硅烷检测仪具备多重安全保障功能：预设三级报警阈值(预警 0.1ppm、报警 0.2ppm、紧急报警 0.3ppm)，触发后启动声光振动三重报警 + 平台推送;内置 10 万条数据存储，支持 USB / 蓝牙导出，满足半导体行业合规追溯需求;传感器具备自诊断功能，故障时实时提示，确保监测可靠性。

半导体专用SIH4硅烷检测仪整机符合《半导体工厂安全规范》《工作场所有害因素职业接触限值》等标准，通过 CPA 计量认证与 Ex ia IIC T4 Ga 防爆认证，适配半导体芯片制造、光伏电池生产、外延片加工等场景，为硅烷使用全流程提供精准、可靠的安全监测，守护产线安全与人员健康。