行业背景：

化学气相沉积(CVD)工艺对环境纯度、无污染物引入要求严苛，无铅化是半导体、光伏等高端制造的核心合规标准。化学气相沉积专用无铅型氧气检测仪，是深国安专为CVD 设备腔体、工艺气体管路、洁净车间等场景设计，以 “无铅环保、高精度监测、适配洁净工况” 为核心，杜绝铅污染对晶圆、薄膜等产品的质量影响，同时保障工艺环境氧含量稳定，助力产线合规高效运行。

化学气相沉积专用SGA-501无铅型氧气检测仪采用进口传感器技术，彻底摒弃了传统含铅传感器中的有害物质，不仅符合环保要求，还避免了铅元素对CVD工艺可能产生的污染，保障了产品的纯净度。化学气相沉积专用SGA-501无铅型氧气检测仪使用寿命5年，具备高灵敏度与宽线性范围，能精准检测低至微量的氧气浓度变化，同时在不同氧气浓度下都能稳定测量，为工艺控制提供可靠数据。

在响应速度上，化学气相沉积专用无铅型氧气检测仪表现卓越，能在短时间内对氧气浓度变化做出反应，快速反馈数据，使操作人员能及时调整工艺参数，确保CVD过程始终处于最佳状态。而且，它拥有长达5年以上的使用寿命，减少了频繁更换传感器的麻烦与成本，提高了设备的整体可靠性和连续运行能力。

化学气相沉积专用无铅型氧气检测仪还具备出色的环境适应性，能在不同温度、湿度和压力条件下稳定工作，抗干扰能力强，不受其他气体的影响。支持 24 小时连续监测，配备 4-20mA/RS485 信号输出，可接入 CVD 产线 MES 系统，超标时联动惰性气体补充装置、腔体密封阀，形成闭环控制。