半导体专用乙硼烷检测仪是深国安技术团队专为芯片制造、半导体材料合成等场景研发的高精度B2H6气体报警器装置，乙硼烷(B₂H₆)作为半导体掺杂、外延生长的关键特种气体，具有剧毒、易燃易爆、易水解的特性，微量泄漏即可能引发人员中毒、设备腐蚀等严重风险。半导体专用SGA-501乙硼烷检测仪聚焦半导体行业严苛的制程要求，实现对乙硼烷气体的快速识别、精准定量与实时预警，为产线安全、人员健康及芯片品质筑牢防线。

半导体专用SGA-501乙硼烷检测仪搭载进口电化学传感器，针对乙硼烷气体的化学特性优化设计，抗水汽、抗其他特种气体(如硅烷、磷化氢)交叉干扰，检测分辨率低至 0.001ppm，能精准捕捉ppb级微量泄漏，满足半导体洁净车间的高灵敏度检测需求。半导体专用SGA-501乙硼烷检测仪采用智能校准技术，检测精度≤±3% FS，响应时间 T90≤10秒，数据稳定无漂移，确保制程中乙硼烷浓度处于安全阈值内，避免气体浓度异常影响芯片良率。

半导体专用SGA-501乙硼烷检测仪具备三重报警机制，当乙硼烷浓度达到预设低报 / 高报阈值时，设备立即启动声光振动报警，同时触发车间联动装置(如通风系统、气体切断阀)，同步向管理人员手机 APP、电脑云端推送报警信息，附带检测点位置坐标，实现 “即时预警 + 快速处置”。半导体专用SGA-501乙硼烷检测仪可选配无线联网功能，可通过4G/WiFi/GPRS/蓝牙连接深国安物联网平台APP、云端管理平台、监控系统等设备，实时显示乙硼烷浓度曲线、设备运行状态、报警记录，管理人员可在办公室、中控室远程掌控检测数据，无需现场值守。

半导体专用SGA-501乙硼烷检测仪整机符合CT6防爆等级，适配半导体洁净车间、易燃易爆环境;IP67 防护等级外壳，防尘防水，可抵御制程中的化学雾气、轻微碰撞，保障设备稳定运行。人员安全保障：支持 “安全距离采样”，搭配延长采样管可远程检测管道接口、反应釜等高危区域，避免检测人员直接接触潜在泄漏源，降低中毒风险。

半导体专用SGA-501乙硼烷检测仪内置大容量存储模块，可存储 10 万组历史数据，支持按时间、检测点位导出 Excel 报表，数据带时间戳与操作人员信息，满足半导体行业安全审计、合规检查的溯源需求。支持云端远程校准、报警阈值调整、固件升级，无需拆卸设备或中断产线，降低维护成本;系统自动记录传感器寿命、校准周期，提醒定期维护，避免因设备故障导致检测失效。

半导体专用乙硼烷检测仪应用场景

1.半导体芯片制造：外延炉、离子注入机等设备的乙硼烷管路接口、阀门泄漏检测，确保掺杂制程安全，避免气体泄漏影响芯片性能。

2.半导体材料生产：乙硼烷气体储罐、输送管道、钢瓶接口的日常巡检，预防存储与转运过程中的泄漏风险。

3.洁净车间维护：设备检修后、产线启动前的乙硼烷残留检测，保障车间环境符合安全标准，避免人员进入时中毒。

4.应急处置场景：乙硼烷泄漏事故现场的快速检测与浓度监测，为救援人员划定安全区域、制定处置方案提供数据支持，降低救援风险。