半导体专用二氯甲烷检测仪，是针对半导体晶圆制造、光刻胶剥离、精密清洗等核心工艺场景研发的DCM气体变送器，专为防控DCM气体泄漏、保障工艺稳定、守护人员安全及环保合规量身打造，适配12英寸/8英寸晶圆厂、半导体实验室、先进封装车间等严苛环境，是半导体行业不可或缺的安全与质控核心装备。

半导体专用二氯甲烷检测仪采用进口PID技术原理，精准捕捉空气中微量DCM气体，检测量程可根据半导体工艺需求定制(0-100ppm至0-2000ppm可选)，分辨率低至1ppb，检测精度≤±3%FS，能快速响应微量泄漏，T90响应时间≤30秒，可有效规避DCM气体累积引发的设备腐蚀、晶圆良率下降及人员健康风险，契合SEMI行业标准及GB相关环保要求。

半导体专用二氯甲烷检测仪具备极强的环境适配性与抗干扰能力，采用铝合金防爆外壳，防爆等级达ExdIICT6Gb，防护等级IP67，可耐受半导体车间高低温(-40℃~70℃)、高洁净度及弱腐蚀性环境，传感器内置PTFE防护膜，有效抵御工艺中双氧水、氨水等试剂的干扰，确保长期稳定运行。

半导体专用二氯甲烷检测仪支持24小时连续在线监测，配备大型LCD背光显示屏，实时显示气体浓度、运行状态及报警信息，支持4-20mA、RS485信号输出，可无缝集成于车间PLC、MES控制系统，实现检测数据实时上传与溯源。内置双重报警机制，可预设高低报警阈值，超标时自动触发85dB以上声光报警，还可联动通风、切断阀等设备，实现“检测-预警-处置”一体化闭环。

半导体专用二氯甲烷检测仪安装便捷、运维省心，采用壁挂式设计，无需复杂调试，支持红外遥控开盖校准，传感器可现场更换且无需重新编程，大幅降低运维成本。其精准、稳定、专用的核心优势，可有效防控DCM气体泄漏风险，保障半导体工艺稳定，助力企业实现安全合规、降本增效，适配3nm-14nm先进制程的严苛检测需求。