纯净的SF₆气体虽然无毒，但在工作场所要防止SF₆气体的浓度上升到缺氧的水平。SF6气体的密度大约是空气的五倍、SF₆气体如有泄漏必将沉积于低洼处，如电缆沟中。浓度过大会出现使人窒息的危险，设计户内通风装置时要考虑到这一情况。
　　在电弧作用下SF₆的分解物如SF₄，S₂F₂，SF₂，SOF₂，SO₂F₂，SOF₄和HF等，它们都有强烈的腐蚀性和毒性。因此在电力系统GIS等应用SF₆的工作场所，要加装SF₆气体泄漏监测设备。

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