一、半导体专用PPB级气体传感器应用背景：

在半导体芯片制造、封装测试等核心环节，微量杂质气体(如氧气、水分、碳氢化合物、有毒特种气体)的存在会直接影响晶圆良率、芯片性能甚至生产安全。深国安SGA-700半导体专用PPB级气体传感器，专为半导体行业 “超高精度、低维护、强适配” 需求定制，以 PPB 级检测能力、免标定技术与多信号输出优势，成为半导体工艺气体监测的核心组件。

SGA-700半导体专用PPB级气体传感器在国外原装进口传感器的基础上，进行了信号放大、数据处理、智能运算及温湿度补偿等工作。且经过99.9%纯度的标准气体校正后才出货给客户。因此，客户购买后，无需任何操作，可直接采集标准信号进行数据处理。即方便使用、又节约了研发及生产成本。可以说，采用深国安公司生产的SGA-700半导体专用PPB级气体传感器模组，只需开发一款产品，即可对应不同企业对检测不同气体、不同量程、不同单位值的需求。

二、核心功能解析

1.PPB 级超高精度检测，捕捉微量杂质

针对半导体工艺对气体纯度的严苛要求(部分场景需控制在 ppb 级以下)，传感器搭载深国安自主研发的高精度传感芯片，融合电化学、红外 NDIR、光离子化(PID)等先进检测技术：

检测量程覆盖 1ppb~1000ppm，分辨率低至 0.001PPM，示值误差≤±3% F.S，可精准捕捉工艺气体中微量水分、氧气、VOCs、有毒特种气体(如硅烷、锗烷、氨气)等杂质;

采用特异性传感材料与抗干扰算法，有效抵御等离子体、高频电磁场、腐蚀性尾气等半导体生产环境中的干扰因素，确保检测数据稳定可靠。

2.免标定设计：出厂即用，降低运维成本

‌智能补偿技术‌：传感器内置温湿度补偿模块与标准气体校正算法，在原始信号处理阶段完成环境干扰剔除，确保出厂后无需用户二次标定。例如，SGA-700系列硫化氢传感器模组在99.99%纯度标准气体环境中完成出厂校准，客户可直接采集0-5V电压或TTL数字信号，节省调试时间与成本。

‌长期稳定性保障‌：采用进口电化学传感元件与金属氧化物半导体复合结构，结合自修复涂层技术，有效抵抗硫化物、挥发性有机物(VOCs)等污染，使用寿命达3-5年，减少频繁校准需求。

3.多信号输出：灵活适配不同系统

‌全信号接口支持‌：提供0-5V电压、TTL电平、RS485、4-20mA四类标准信号输出，兼容工业自动化系统(如PLC、DCS)、环境监测站及便携式设备。例如，智能PPB级一氧化氮传感器模组可同时输出0-5V模拟信号与TTL数字信号，满足数据采集与远程传输双重需求。

‌模块化设计‌：传感器直径仅33.5mm，支持即插即用，可快速集成至现有监测设备中。用户可根据场景需求选择单气体检测或多气体组合监测方案，如定制1-10种气体指标的复合型传感器模组。

应用场景

1. 工艺气体纯度监测

应用环节：化学气相沉积(CVD)、物理气相沉积(PVD)、离子注入、蚀刻、外延生长等;

监测目标：工艺气体(如硅烷、氨气、氟化氢、氢气)中的微量水分、氧气、碳氢化合物等杂质，确保气体纯度符合工艺要求，避免杂质导致薄膜沉积缺陷、芯片性能衰减。

2. 特种气体储存与输送监测

应用环节：气柜、钢瓶间、管道接口、阀门等;

监测目标：硅烷、锗烷、磷烷等剧毒 / 易燃易爆特种气体的泄漏，以及氮气、氩气等惰性气体的纯度，防范中毒、爆炸与缺氧风险。

3. 洁净室环境监测

应用环节：芯片封装车间、测试车间、光刻区等洁净区域;

监测目标：空气中的微量 VOCs、悬浮颗粒物、氧气浓度，确保洁净室环境符合 ISO 14644 标准，避免污染物影响芯片封装质量与操作人员健康。

4. 尾气处理与环保监测

应用环节：半导体生产尾气处理设备进出口;

监测目标：尾气中含氟、含氯、含氨等有害气体浓度，确保处理系统运行有效，满足环保排放标准，避免污染物排放超标。

深国安SGA-700半导体专用PPB级气体传感器，以 “高精度、免维护、强适配” 的核心优势，不仅满足《半导体工厂设计规范》《电子工业污染物排放标准》等行业要求，更通过技术创新为半导体企业降低运维成本、提升工艺稳定性，成为半导体行业高精度气体监测的理想选择，助力芯片制造安全、高效、高质量推进。