在半导体芯片制造、封装测试等核心场景中，工艺气体纯度与特种气体泄漏监测直接决定产品良率与生产安全。深国安SGA-400半导体专用红外气体传感器，依托进口红外NDIR核心技术，高精度3%FS、5 年超长寿命、免校准运维、多信号输出等核心优势，专为半导体行业洁净环境、严苛工艺要求定制，成为高精度气体监测的核心组件。

SGA-400半导体专用红外气体传感器采用双波长差分红外检测技术，针对半导体行业常用气体(如甲烷、二氧化碳、氨气、硅烷、氟化氢等)的特征吸收精准识别，检测精度达 ±3% F.S，分辨率低至 0.1ppm/0.1ppb(按需定制)。SGA-400半导体专用红外气体传感器搭配抗干扰算法，有效抵御等离子体、高频电磁场、腐蚀性尾气等复杂环境干扰，即使在洁净室 Class 1-Class 100 的严苛环境中，也能稳定捕捉气体浓度细微变化，满足工艺气体纯度监测与泄漏预警需求。

SGA-400半导体专用红外气体传感器突破传统传感器寿命瓶颈，采用高稳定性红外光源与光敏元件，经过严苛环境老化测试，使用寿命长达 5 年以上，远高于行业平均水平。SGA-400半导体专用红外气体传感器采用密封式封装设计，隔绝粉尘、水汽侵蚀，减少组件损耗，确保长期连续运行下的检测精度稳定性，大幅降低传感器替换频率与运维成本，适配半导体工厂长期稳定生产需求。

SGA-400半导体专用红外气体传感器集成 “出厂预校准 + 零点自动追踪 + 温湿度补偿” 三重智能技术：出厂时通过标准气体精准标定，内置校准系数，用户安装后无需现场复杂校准，直接投入使用;智能零点自动追踪算法可实时修正零点漂移(零点漂移≤±0.5% F.S/ 年)，避免长期使用导致的检测偏差;温湿度补偿模块自动适配 10℃~40℃、20%~80% RH 的环境变化，无需人工干预校准，显著提升运维效率。

产品特点

● 体积小、重量轻、功能强大;

● 已标定，无需二次开发，即买即用;

● 产品一次对接，即可对应1000多种气体检测，一劳永逸;

● 产品标准化，任何气体都可以做成尺寸结构统一、信号输出统一、使用方法统一;

● 本质安全型电路设计，安全可靠;

● 兼容红外、电化学、催化、半导体、PID、MOS等不同技术原理传感器，功能强大;

● 自带温度补偿和数据校准功能，产品稳定，一致性好;

● 内置世界顶级品牌气体传感器，反应灵敏，测量精准，寿命长久;

● 双信号输出(电压+TTL数字信号)，方便客户使用;

● 定制镀金插座，拔插容易，固定牢靠;

● 气体流体工程学设计，进气流畅;

● 自然扩散式和主动吸入式两种采样方式可选;

● 免费提供测试软件和通讯协议，方便产品调试和系统对接;

● 内部数据和指令开放，方便客户做二次修正或更改;

● 可选配多组信号转换板，将多个模组信号统一输出为RS485、RS232和USB数据接口;

半导体专用红外气体传感器应用场景

1. 工艺气体纯度监测

在化学气相沉积(CVD)、物理气相沉积(PVD)、蚀刻、离子注入等核心工艺环节，监测硅烷、氨气、氟化氢等工艺气体中的微量杂质(如水分、氧气、碳氢化合物)，确保气体纯度符合工艺要求，避免杂质导致芯片缺陷、良率下降。

2. 特种气体泄漏预警

针对气柜、钢瓶间、管道接口等高危区域，监测硅烷、锗烷、磷烷等剧毒 / 易燃易爆特种气体的泄漏，以及氮气、氩气等惰性气体的浓度变化，防范中毒、爆炸与缺氧风险，保障人员安全。

3. 洁净室环境监测

在芯片封装、光刻、测试车间等洁净区域，监测空气中的二氧化碳、VOCs、微量有害气体浓度，确保洁净室环境参数达标，避免污染物影响芯片封装质量与操作人员健康。

4. 尾气处理监测

安装于半导体生产尾气处理设备的进出口，实时监测含氟、含氯、含氨等有害气体浓度，验证尾气处理效果，确保排放符合环保标准，规避环保合规风险。

深国安SGA-400半导体专用红外气体传感器具备高精度、长寿命、免运维、强适配等核心优势，严格遵循《半导体工厂设计规范》等行业标准，为半导体企业提供稳定可靠的气体监测解决方案，助力降低生产成本、提升工艺稳定性，保障生产安全与环保合规。