行业动态

化学气相沉积(CVD)工艺-H2氢气侦测器-高精度3%-深国安

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化学气相沉积(CVD)工艺专用H2氢气侦测器兼容电化学,催化燃烧,热传导等传感技术,可实现多量程智能切换:针对泄漏安全监测,0-100% LEL 量程分辨率达 0.1% LEL,响应时间≤1.5 秒,可快速捕捉腔体法兰、阀门的微量泄漏;针对高纯氢气纯度管控,99.99%-100%VOL 量程分辨率 0.001%VOL;针对常规气体浓度监测,例如0-1000PPM,高分率0.001,可精准识别气源杂质,避免因氢气纯度不足导致薄膜电阻率偏差。双模块协同工作,检测误差均≤±3% FS,较传统单原理设备适用场景更广。

2025-10-21

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化学气相沉积(CVD)工艺专用AR氩气探测器-PPB级别-深国安

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化学气相沉积(CVD)工艺专用AR氩气探测器:在半导体 CVD 工艺中,氩气作为保护气(隔绝空气防薄膜氧化)与载气(输送反应气体),其纯度直接决定薄膜沉积质量 —— 即使 ppb 级(10⁻⁹)的杂质(如氧气、水分)也可能导致晶圆出现针孔、组分偏差等缺陷。深国安自主研发一款化学气相沉积(CVD)工艺专用AR氩气探测器,产品以 “ppb级分辨率” 为核心,专为 3nm-90nm先进制程设计,精准捕捉氩气中微量杂质,为 CVD 工艺纯度管控与安全生产提供可靠监测。

2025-10-21

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半导体湿法清洗工艺专用双氧水检测仪-抗温湿度-深国安

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半导体前道湿法清洗工艺专用双氧水检测仪采用进口电化学传感器,常规检测量程覆 0-100ppm(清洗液挥发监测)与 0-1000ppm(应急泄漏监测),分辨率达 0.1ppm,响应时间≤5 秒,可快速捕捉清洗槽周边双氧水蒸汽浓度变化,避免浓度超标引发的晶圆损伤或人员呼吸道刺激。

2025-10-17

  390

气相沉积(CVD)工艺专用氮气检测仪-多量程/高精度-深国安

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深国安研发的气相沉积(CVD)工艺专用SGA-501氮气检测仪以 “多量程精准覆盖、高精度实时监测” 为核心,专为半导体晶圆钝化层、光伏电池减反射膜、显示面板 ITO 膜等 CVD 制备场景设计,完美适配低压 / 常压 CVD 设备环境,为工艺稳定性与人员安全提供双重保障。

2025-10-17

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薄膜材料制备工艺专用氨气检测仪-带报警主机-深国安

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SGA-501氨气检测仪是专为薄膜材料制备工艺(CVD/ALD 氮化硅沉积、金属氧化物薄膜合成等)设计的一款工业级NH3气体报警器装置,该设备以“多量程精准覆盖、智能报警联动、无线联网管控” 为核心优势,完美适配洁净室高要求环境,同时满足人员安全防护与工艺浓度控制双重需求,是薄膜生产全流程氨气监测的专用解决方案。

2025-10-16

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化学气相沉积(CVD)工艺专用氢气传感器-高精度3%-深国安

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化学气相沉积(CVD)工艺专用氢气传感器应用背景:化学气相沉积(CVD)是半导体、光伏、新材料等领域的核心工艺,通过气相反应在基底表面沉积薄膜。然而,CVD工艺中氢气(H₂)的精确控制至关重要。例如‌作为载气/反应气‌:氢气常用于携带前驱体或参与还原反应,浓度波动直接影响薄膜质量。‌

2025-10-15

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半导体(CVD)工艺专用氢气检测仪-无线GPRS传输-深国安

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半导体(CVD)工艺专用氢气检测仪搭载工业级GPRS无线传输模块,可实时将检测数据上传至云平台,支持电脑端管理系统与手机 APP 远程查看,数据传输延迟≤1 秒,满足 SEMI 标准对工艺参数记录的要求。内置 16GB 存储芯片,可保存 5 年以上历史数据,支持 Excel 格式导出,便于合规审计。

2025-10-15

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实时监测型苯乙烯报警仪-扩散/泵吸/管道采样-深国安

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实时监测型苯乙烯报警仪针对工业场景的复杂需求,该设备支持三种采样方式定制:扩散式适用于开放车间的自然扩散监测,无需外接动力;泵吸式配备进口微型真空泵,10 秒内可抽取 5 米外气体,适配密闭空间(如反应釜操作间);管道式通过法兰接口直接安装于工艺管道,实时监测苯乙烯输送环节的泄漏情况,满足不同工况下的精准采样需求。

2025-10-13

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GPRS无线传输型联氨报警仪-秒级响应/短信报警-深国安

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传统联氨监测设备存在 “数据本地化、报警滞后、依赖人工值守” 等问题,难以应对联氨使用场景的高危需求。深国安这款GPRS无线传输型联氨报警仪,凭借 “秒级响应检测 + GPRS 实时传数 + 短信主动报警” 三重核心能力,构建联氨泄漏的全时段、远距离安全监测体系,让危险预警 “不延迟、无遗漏”。

2025-10-11

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机器狗专用十合一气体传感器模块-多信号输出-深国安

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机器狗专用十合一气体传感器模块是深国安运用十多年技术经验、采用国外原装进口气体传感器,通过32位微处理器和24位数据采集器后,再进行全量程进行温湿度补偿,然后再用99.9%纯度的标准气体进行校准之后的产品;可直接输出4- 20mA电流信号、RS485通讯协议、或0- 5V电压等信号;因此,客户购买后,无需二次开发,无需任何操作,可直接采集标准信号,进行数据传输、在线监测等工作。

2025-10-11

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