半导体气相沉积(CVD)工艺二氯二氢硅检测仪解决方案：

在半导体制造的气相沉积 (CVD) 工艺中，二氯二氢硅(SiH₂Cl₂)作为常用的硅源气体，广泛应用于外延生长、二氧化硅和氮化硅薄膜制备等关键环节。然而，该气体具有多重风险特性，通过部署专业化的二氯二氢硅检测仪应用解决方案，半导体制造企业能够实现 CVD 工艺环节的全方位气体监控，有效预防泄漏风险，保障生产安全与产品质量，同时满足行业合规要求。

1.毒性危害显著：二氯二氢硅具有强刺激性和毒性，对眼睛、皮肤和呼吸道有严重腐蚀作用，短时间接触高浓度气体可导致化学性肺炎甚至肺水肿。OSHA 规定其 8 小时加权平均容许浓度(PEL)为 5ppm，短时间接触容许浓度(STEL)为 10ppm。

2.燃爆风险突出：该气体在空气中的爆炸极限为 4.1%~98%，遇明火、高温或与氧化剂接触会发生剧烈反应，甚至引发爆炸。在 CVD 设备的管道连接处、阀门接口等部位易发生泄漏，形成安全隐患。

3.影响产品质量：在精密半导体制造中，二氯二氢硅的浓度波动会直接影响薄膜生长速率和均匀性，导致芯片性能下降。同时，泄漏的气体可能污染洁净室环境，造成批次性产品缺陷。

4.腐蚀设备设施：二氯二氢硅遇水会生成盐酸，对金属管道、阀门及 CVD 反应腔造成腐蚀，不仅缩短设备寿命，还可能加剧泄漏风险，形成恶性循环。

因此，在半导体CVD工艺环节部署专业的二氯二氢硅检测仪器，实现对气体浓度的实时监控与预警，是保障生产安全、人员健康和产品质量的必要措施。

仪器资料：

SGA-501二氯二氢硅检测仪采用工业级铝合金防爆外壳，坚固耐用;2.4英寸超大屏幕，完美显示目标气体、浓度、单位、指示灯工作状态等各项参数;中英文、繁体，操作界面，适合所有人群;强大声光报警功能，三级报警点自由设置，当气体浓度超标时，自动发出85dB以上的报警声响。同时支持一键消音。SGA-501二氯二氢硅检测仪强大的数据存储功能，客户可通过有线或无线连接，将数据打印或导出;国外原装进口芯片，精度高、稳定性强、误差率低;多种信号传输，兼容90%以上厂家的气体报警控制器、PLC、DCS、DDC等上位机系统;全量程温湿度补偿，32位纳米级微处理器+24位超高ADC采集芯片，确保产品在长期运行过程中的数据稳定。

半导体气相沉积(CVD)工艺二氯二氢硅检测仪布设方案

一、固定式检测点布置

CVD设备区域：

每台CVD设备周围布置 3-4个检测点：反应腔正前方 1 个、气体入口侧 1 个、排气口附近 1 个、维护门外侧 1 个

安装高度：二氯二氢硅检测仪距离地面 0.5-1.5 米(二氯二氢硅相对密度 1.2，略重于空气)

采样方式：二氯二氢硅检测仪采用泵吸式采样，采样点靠近潜在泄漏源(如法兰、阀门)

气体输送系统：

钢瓶柜内安装1台二氯二氢硅检测仪，监测钢瓶接口泄漏；

气体控制面板 (VMB) 下方安装 1 台，监测阀门泄漏；

管道转弯处、接头处增设检测点，间距不超过 6 米；

洁净室环境：

在 CVD 工艺区与非工艺区交界处布置检测点；

回风口附近安装 1 台，监测气体扩散情况；

按照每 50㎡面积布置 1 台的密度覆盖整个洁净室；

二、系统架构设计

采用"分布式检测 + 集中式管理" 的架构：

检测层：各固定式二氯二氢硅检测仪独立采集浓度数据，本地声光报警

传输层：通过屏蔽双绞线或光纤将数据传输至中控室，防爆区域采用本安型接线盒

管理层：中央监控软件实时显示各点浓度，记录报警信息，生成分析报表

执行层：与排风系统、气体紧急切断阀、洁净室 FFU 联动，自动响应报警

 联动控制策略

一级报警 (2ppm)：启动局部排风系统，增加对应区域 FFU 运行频率

二级报警 (5ppm)：关闭二氯二氢硅供气阀门，启动事故排风，声光报警通知人员

紧急报警 (10ppm)：触发洁净室紧急停机程序，关闭所有相关工艺设备，启动全室排风

三、安装与调试规范

1. 安装要求

检测点应避开直接通风口、热源和振动源。

采样管路采用耐腐蚀材料(如 PTFE)，长度不超过 5 米，减少响应延迟。

防爆区域布线需穿镀锌钢管，接头处用防爆密封胶泥密封。

设备接地电阻≤4Ω，确保防雷防静电。

2.调试流程

单点调试：

零点校准：通入洁净空气(露点≤-60℃)；

跨度校准：使用 5ppm 和 20ppm 的二氯二氢硅标准气体；

报警测试：模拟浓度超标，验证声光报警及继电器输出；

3.系统联调：

验证数据传输的准确性和实时性(延迟≤1 秒)；

测试联动控制功能，确保报警时能正确触发相应设备；

模拟故障情况，检查系统容错能力和故障报警功能；

4.验收标准：

所有检测点在通入 5ppm 标准气时，示值误差≤±0.5ppm；

系统响应时间(从泄漏到中控室报警)≤30 秒；

连续运行 72 小时无故障，数据记录完整；