化学气相沉积(CVD)硅烷检测仪案例百科：

上海客户某半导体制造企业生产过程中，硅烷常用于化学气相沉积(CVD)工艺，该工艺有时与溅射工艺协同用于半导体制造。硅烷也是高度易燃气体，它在空气中能自燃，一旦泄漏，很容易被周围环境中的热源(如设备运行产生的热量)点燃，引发火灾。因此，为安全起见，需要配备一批专业硅烷检测仪设备，实现气体浓度的实时监测、分级预警及数据追溯，规避安全事故与合规风险。该项目负责人经过与深国安详细技术洽谈，定制107套硅烷检测仪器。近期，设备已全部安装完毕，正式投入使用当中。

行业背景：

硅烷(SiH4，常简称甲硅烷)作为半导体行业不可或缺的核心特种气体，被誉为“芯片制造的硅之源”，贯穿晶圆制造、集成电路封装、半导体器件生产等全流程核心工艺，是化学气相沉积(CVD)、外延生长、多晶硅制备及掺杂工艺的关键原料，其纯度与使用安全性直接决定半导体芯片的性能、良率及生产稳定性，90%的晶圆制造与先进封装环节均需依赖高纯度硅烷气体开展生产活动。

随着全球半导体产业向高端化、精细化升级，芯片制程不断突破(向7nm及以下节点迈进)，对硅烷气体的纯度要求提升至99.9999%以上，同时硅烷的高危特性也使得行业安全管控面临严峻挑战，硅烷检测仪的应用成为半导体行业高质量发展的必然需求。

产品资料：

深国安SGA-500硅烷检测仪是专门针对半导体行业所研发的一款高精度实时监测型气体报警器(带CT6防爆证)，信号默认为4-20mA电流输出;产品运用当前最先进的微电子处理技术，搭配国外原装进口气体传感器，可快速、准确地检测目标气体。产品为气体检测行业的最高三防设计：防高浓度过载(带自我保护功能)、防止人员误操作(内置按键+可还原出厂设置)、防雷击(三级标准)。本质安全型电路设计，配备铝合金防爆外壳，即使恶劣环境下，也能安全使用。

SGA-500硅烷检测仪可以在每个芯片生产车间现场环境布设独立气体监测点。它们可提供连续监测，以全面了解整个设施的危险气体水平。适用于对特定场所进行长期的气体监测，如工厂、仓库、化工厂等，有助于及时发现潜在的安全隐患。可以与其他设备或系统集成，实现自动化控制和联动，例如当检测到气体泄漏时，自动关闭阀门或启动通风设备。